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基板分割装置
基板分割装置
1枚のシート基板から複数個の基板を切り出す設備です。
スカラロボットにてシート基板の供給、個片基板の排出を行います。
粉塵の飛散防止カバーに捨て基板排出機構も付与しましたので、省スペースです。
基板受け治具を交換することで多品種への対応が可能です。
※その他機構多数搭載 詳しくはお問合せください。
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